9月27日，截止午间收盘，半导体设备ETF（561980）涨6.66%，报0.945元，成交额1105.13万元。半导体设备ETF（561980）重仓股方面，北方华创截止午盘涨7.12%，中微公司涨8.29%，中芯国际涨6.21%，韦尔股份涨3.99%，海光信息涨5.94%，华海清科涨5.09%，拓荆科技涨8.54%，南大光电涨5.45%，沪硅产业涨4.41%，安集科技涨4.43%。
半导体设备ETF（561980）业绩比较基准为中证半导体产业指数收益率，管理人为招商基金管理有限公司，基金经理为苏燕青，成立（2023-08-21）以来回报为-11.81%，近一个月回报为1.53%。
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