12月19日，截止午间收盘，半导体设备ETF（159516）跌0.76%，报1.041元，成交额7035.06万元。半导体设备ETF（159516）重仓股方面，中微公司截止午盘跌1.44%，北方华创涨0.21%，沪硅产业跌0.58%，华海清科跌1.12%，拓荆科技跌1.77%，南大光电跌0.98%，雅克科技跌0.18%，长川科技跌0.55%，芯源微跌0.91%，立昂微跌1.11%。
半导体设备ETF（159516）业绩比较基准为中证半导体材料设备主题指数收益率，管理人为国泰基金管理有限公司，基金经理为艾小军，成立（2023-07-19）以来回报为4.77%，近一个月回报为-5.23%。
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